14mm 2.5D振镜扫描系统

振镜项目/ltem

单位/Unit

参数/Parameter

电源参数
Power Supply

输入电压 Input Voltage

VAC

170-264

输出电压 Output Voltage

VDC

±15

额定输出电流 Current

A

10

控制卡参数
Control Card

输出接口 Input interface

XY2-100协议

输入接口 Output interface

网口 Entermet Port

激光器控制 Laser type

紫外、光纤、绿光激光器

环境要求
Environmental
Requirement

工作温度 Ambient temperature

℃

0～+40

存储温度 Storage temperature

℃

一10～+60

湿度 Humidity

≤75%无凝结

振镜参数
Specifications
For
Defiection
Unit

工作偏转角 Scan angle

°

±11.5

重复标刻精度 Repeatability

urad

5

增益漂移 Max.Gain Drift

ppm/K

12

位置漂移 Max.Offset driff

urad/K

30

8小时连续工作漂移
Long-term driff over 8h

mrad

0.3

加工速度 Maximal processing speed

字符/s

650

小步长阶跃相应时间 Small step response

ms

≤0.18

动态变焦系统参数
Dynamic zoom system parameters

小步长阶跃相应时间
Small step response

ms

≤1.6

光学参数
Specifications
For
Optics

激光介质 Laser

UV Laser

YAG/Fiber

Green

波长 Wavelenth

nm

355

1064

532

镀膜 Coating

抗反射膜

振镜通光直径 Aperture size

mm

φ10

系统入射光斑 System input laser beam

mm

6.5

7

7

结构参数
Specifications
For Structure

重量 Weight

Kg

8

尺寸 Dimension(L×W×H)

mm

324x140x181.5

2.5D系统
幅面和光斑直径
2.5D system
Field Size&
Spot Diameter

绿光2.5D系统

波长 Wavelength

nm

532nm

振镜通光直径
Aperture size

mm

φ14

系统入射光斑
System input laser beam

mm

φ3.5

工作范围 field size

mm

70x70

Z轴聚焦范围 Focus range in Z-direction

mm

±5mm

场镜离工作面距离
Distance of F-Theta from working face

mm

93.03mm

最小光斑直径((基于光束质量M²=1))
The Smallest Spot diameter1/e²

mm

0.01mm

应用行业 Application Industry

玻璃面板切割&钻孔 Glass panel cutting&driling

加工效率 Machining efficiency

3mm厚玻璃，孔径4.6mm,切割用时≤15s
3mm thick glass,with aperture of 4.6mm,cutting time≤15s

光纤2.5D系统

波长 Wavelength

nm

1064nm

振镜通光直径
Aperture size

φ14

系统入射光斑
System input laser beam

7mm

工作范围 field size

mm

210*210

Z轴聚焦范围 Focus range in Z-direction

mm

±20mm

场镜离工作面距离
Distance of F-Theta from working face

mm

93.03mm

最小光斑直径((基于光束质量M²=1))
The Smallest Spot diameter1/e²

um

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